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SIC碳化硅晶圆代加工

发布时间:2019-06-17 14:27

贯通整个碳化硅全产业链的高新技术企业,既:碳化硅高纯粉料→碳化硅单晶材料→碳化硅外延→碳化硅器件→碳化硅功率模块制备。

单晶材料代加工流程


Ø目前成品晶片TTV<5、Bow <10 、Warp <12,粗糙度<0.1nm(标准<0.3nm)Ø加工能力:4英寸 10000片/年, 6英寸   5000片/年


日本、韩国等国际先进的加工设备

  定向仪
  
  多线切割机
  
  抛光机
  
  平面研磨
  
  单线切割机
  
  自制单晶炉
  
      清洗封装机
  



全套的检测仪器

原子力显微镜,拉曼光谱仪,电阻率测试仪


引进日本SIC新型半导体材料划裂片方案是国际SiC划片最先进设备之一。通过切割和劈裂工艺步骤进行加工,该生产工艺采用金刚石刀切割方式;劈刀在划片完成后,在晶圆背面及正面划道位置实现劈开

工艺优点:

★不使用水冲洗实现干式加工(环保且可削减加工成本)

★极大缩短加工时间,提高生产效率

★缩小切割道,加大芯片密布效果。

★划片刀的损耗降低(削减加工成本)

日本MDI公司划片机

®国际SiC划片最先进设备之一;

®金刚石刀切割方式;

®产品尺寸兼容2、3、4、6、8英寸,单台设备月产能可达1500片。

日本MDI公司裂片机

®国际SiC裂片最先进设备之一;

®劈刀在划片完成后,在晶元背面划道位置及正面划道位置实现劈开;

®产品尺寸兼容2、3、4、6、8英寸,单台设备月产可达1500片。

SiC划裂片产品:

®切割厚度100μm-600um范围内稳定可控;

®切割道宽度> 50um以上稳定可控;

®切割芯片尺寸>1.28mm*1.28mm以上稳定可控。



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