准分子激光器在激光剥离中的应用

“柔性”是显示屏未来的发展方向。准分子激光器以其极高的脉冲能量和均匀的线性光束，成为柔性AMOLED面板量产中实现快速激光剥离的完美工具。

在进行激光剥离工艺前，面板已经经历了多道加工工序，其中包括激光退火（ELA）。此时面板已经成为高价值的半成品，因此，激光剥离的良率以及效率成为降低面板成本的关键因素。

相干公司的UVblade系列产品是专为满足工业化生产而设计和优化的。其光束线长可以满足不同尺寸的各类面板。UVblade系列产品可以提供完美的平顶光斑，因此脉冲和脉冲之间的重叠度很小，从而具有很高的生产效率。准分子激光器最大的优点在于直接输出的紫外光具有极高的脉冲能量和能量稳定性。

准分子激光器可以实现24/7不间断工作，并可以根据加工工艺的要求实现激光脉冲的“开“”关”转换。通常，工业加工过程中会有30%的时间用于“上、下”料操作。UVblade系列产品针对这种工艺流程进行优化，可以根据工艺需要来控制激光脉冲输出，在保证高良率的前提下降低生产成本。

基于准分子激光器的剥离技术是柔性OLED研发和量产的最佳选择方案。目前的量产设备中，绝大多数都是采用准分子激光器。

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